Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT47) - Taschenbuch
ISBN: 0819439959
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Ever-smaller IC devices are pushing the optical lithography envelope, increasing the importance of resolution enhancement techniques. This tutorial encompasses two decades of research. It… Mehr…
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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47) - Taschenbuch
2001, ISBN: 9780819439956
SPIE Press, Taschenbuch, 214 Seiten, Publiziert: 2001-03-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Book, Verkaufsrang: 4751601, Elektrotechnik, Ingenieurwissenschaft & Technik, Naturwissenschaften & T… Mehr…
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2001
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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches
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Titel: | |
ISBN-Nummer: |
Contents
- Foreword
- Preface
- List of symbols
- Introduction
- Optical imaging and resolution
- Modified illumination
- Optical proximity correction
- Alternating phase-shifting mask
- Attenuated phase-shift mask
- Selecting appropriate RETs
- Second-generation RETs
- Concluding remarks
- k1 conversion charts
- Bibliography
- Index
Detailangaben zum Buch - Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)
EAN (ISBN-13): 9780819439956
ISBN (ISBN-10): 0819439959
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2001
Herausgeber: SPIE Press
Buch in der Datenbank seit 2007-06-05T04:55:43+02:00 (Vienna)
Detailseite zuletzt geändert am 2020-03-15T14:40:47+01:00 (Vienna)
ISBN/EAN: 0819439959
ISBN - alternative Schreibweisen:
0-8194-3995-9, 978-0-8194-3995-6
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: kit wong
Titel des Buches: resolution, spie vol, enhancement
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