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Alfred Kwok-Kit Wong:

Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT47) - Taschenbuch

ISBN: 0819439959

[SR: 1966210], Paperback, [EAN: 9780819439956], SPIE Publications, SPIE Publications, Book, [PU: SPIE Publications], SPIE Publications, This tutorial summarizes optical lithography enhanc… Mehr…

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Wong, Alfred K.:

Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography - neues Buch

ISBN: 9780819439956

Ever-smaller IC devices are pushing the optical lithography envelope, increasing the importance of resolution enhancement techniques. This tutorial encompasses two decades of research. It… Mehr…

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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47) - Taschenbuch

2001

ISBN: 9780819439956

SPIE Press, Taschenbuch, 214 Seiten, Publiziert: 2001-03-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Book, Verkaufsrang: 4751601, Elektrotechnik, Ingenieurwissenschaft & Technik, Naturwissenschaften & T… Mehr…

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2001, ISBN: 9780819439956

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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography, Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47 - gebrauchtes Buch

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Details zum Buch
Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)

This tutorial summarizes optical lithography enhancement research and development over the past 20 years. Discusses theoretical and practical aspects of commonly used techniques, including optical imaging and resolution, modified illumination, optical proximity correction, alternating and attenuating phase-shifting masks, selecting RETs, and second-generation RETs. Useful for students and practicing lithographers.

Contents

- Foreword
- Preface
- List of symbols
- Introduction
- Optical imaging and resolution
- Modified illumination
- Optical proximity correction
- Alternating phase-shifting mask
- Attenuated phase-shift mask
- Selecting appropriate RETs
- Second-generation RETs
- Concluding remarks
- k1 conversion charts
- Bibliography
- Index

Detailangaben zum Buch - Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)


EAN (ISBN-13): 9780819439956
ISBN (ISBN-10): 0819439959
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2001
Herausgeber: SPIE Press

Buch in der Datenbank seit 2007-06-05T04:55:43+02:00 (Vienna)
Detailseite zuletzt geändert am 2020-03-15T14:40:47+01:00 (Vienna)
ISBN/EAN: 0819439959

ISBN - alternative Schreibweisen:
0-8194-3995-9, 978-0-8194-3995-6
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: kit wong
Titel des Buches: resolution, spie vol, enhancement


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