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Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization: Fabrication of Next-Generation Nanodevices - Paik, Ungyu, Park, Jea-Gun
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Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization: Fabrication of Next-Generation Nanodevices - gebunden oder broschiert

2009, ISBN: 9781420059113

Taylor & Francis Inc, Gebundene Ausgabe, Auflage: Illustrated, 222 Seiten, Publiziert: 2009-02-04T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, 1.1 kg, Flash, Programmierung & Webdesign, Computer & Int… Mehr…

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2009, ISBN: 1420059114

[EAN: 9781420059113], Neubuch, [PU: CRC Press], SCIENCE CHEMISTRY INDUSTRIAL & TECHNICAL CMP PROCESS PAA CONCENTRATION LAYER POLISHING RATE PVP POLYMER REMOVAL FILM THICKNESS VARIATION SO… Mehr…

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2008

ISBN: 9781420059113

[ED: Gebunden], [PU: Taylor & Francis Inc], Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Hanyang University, Seoul, South KoreaIn the d… Mehr…

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2009, ISBN: 9781420059113

Fabrication of Next-Generation Nanodevices, Buch, Hardcover, [PU: Crc Press Inc], Crc Press Inc, 2009

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ISBN: 9781420059113

hardback, [PU: CRC Press]

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Details zum Buch
Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization: Fabrication of Next-Generation Nanodevices

Increasing reliance on electronic devices demands products with high performance and efficiency. Such devices can be realized through the advent of nanoparticle technology. This book explains the physicochemical properties of nanoparticles according to each step in the chemical mechanical planarization (CMP) process, including dielectric CMP, shallow trend isolation CMP, metal CMP, poly isolation CMP, and noble metal CMP. The authors provide a detailed guide to nanoparticle engineering of novel CMP slurry for next-generation nanoscale devices below the 60nm design rule. This comprehensive text also presents design techniques using polymeric additives to improve CMP performance.

Detailangaben zum Buch - Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization: Fabrication of Next-Generation Nanodevices


EAN (ISBN-13): 9781420059113
ISBN (ISBN-10): 1420059114
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsjahr: 2009
Herausgeber: Taylor & Francis Inc
191 Seiten
Gewicht: 0,499 kg
Sprache: eng/Englisch

Buch in der Datenbank seit 2008-06-11T00:04:11+02:00 (Vienna)
Detailseite zuletzt geändert am 2023-11-26T17:59:28+01:00 (Vienna)
ISBN/EAN: 9781420059113

ISBN - alternative Schreibweisen:
1-4200-5911-4, 978-1-4200-5911-3
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: paik, gun, jea, jeå
Titel des Buches: fabric, nanoparticle engineering chemical mechanical planarization fabrication next generation nanodevices, parker gun


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