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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - - neues Buch
2008, ISBN: 363805277X
Diplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universität Chemnitz (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikrotechnologie… Mehr…
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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik - Erstausgabe
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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches
Detailangaben zum Buch - Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik
EAN (ISBN-13): 9783638052771
ISBN (ISBN-10): 363805277X
Erscheinungsjahr: 2004
Herausgeber: GRIN Verlag
Buch in der Datenbank seit 2009-12-09T18:39:16+01:00 (Vienna)
Detailseite zuletzt geändert am 2024-01-21T00:14:13+01:00 (Vienna)
ISBN/EAN: 9783638052771
ISBN - alternative Schreibweisen:
3-638-05277-X, 978-3-638-05277-1
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: wachtler, wachtl, grin verlag, wächtler
Titel des Buches: mikroelektronik, metallisierung, gasphase, die kupfer, chemische gasphasenabscheidung, die von der
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