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Common test standards for evaluating the hermeticity of microsystem packages are unsuitable for small MEMS-devices. It is the task of this Master thesis to create a universal test device … Mehr…

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Mechanical resonator for hermeticity evaluation of RF MEMS wafer–level package - Erstausgabe

2004, ISBN: 9783638247573

[ED: 1], 1., Auflage, eBook Download (PDF), eBooks, [PU: GRIN Verlag]

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Details zum Buch

Detailangaben zum Buch - Mechanical resonator for hermeticity evaluation of RF MEMS wafer-level packages


EAN (ISBN-13): 9783638247573
Erscheinungsjahr: 2002
Herausgeber: GRIN Publishing

Buch in der Datenbank seit 2009-02-04T05:35:27+01:00 (Vienna)
Detailseite zuletzt geändert am 2022-01-02T17:00:22+01:00 (Vienna)
ISBN/EAN: 9783638247573

ISBN - alternative Schreibweisen:
978-3-638-24757-3
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: fischer sebastian


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