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Ion Implantation and Synthesis of Materials - Michael Nastasi; James W. Mayer
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Michael Nastasi; James W. Mayer:
Ion Implantation and Synthesis of Materials - gebrauchtes Buch

ISBN: 3642062598

ID: 10899831

Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. Some integrated circuits require up to 17 implantation steps and circuits are seldom processed with less than 10 implantation steps. Controlled doping at controlled depths is an essential feature of implantation. Ion beam processing can also be used to improve corrosion resistance, to harden surfaces, to reduce wear and, in general, to improve materials properties. This book presents the physics and materials science of ion implantation and ion beam modification of materials. It covers ion-solid interactions used to predict ion ranges, ion straggling and lattice disorder. Also treated are shallow-junction formation and slicing silicon with hydrogen ion beams. Topics important for materials modification, such as ion-beam mixing, stresses, and sputtering, are also described. home and garden,house and home,science,science and math,science and scientists,science and technology Home & Garden, Springer

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Ion Implantation and Synthesis of Materials - Michael Nastasi; James W. Mayer
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Michael Nastasi; James W. Mayer:
Ion Implantation and Synthesis of Materials - neues Buch

ISBN: 9783642062599

ID: 9783642062599

Physics; Particle Acceleration and Detection, Beam Physics; Condensed Matter Physics; Optical and Electronic Materials; Characterization and Evaluation of Materials; Physical Chemistry Diffusion, Doping, Implanted shallow junctions, Ion implantation, Ion ranges, Ion-modified materials, Slicing silicon, crystal, distribution, materials properties, materials science Books, Springer Nature

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Ion Implantation and Synthesis of Materials als Buch von James W. Mayer, Michael Nastasi - Springer Berlin Heidelberg
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Ion Implantation and Synthesis of Materials als Buch von James W. Mayer, Michael Nastasi - neues Buch

2006, ISBN: 9783642062599

ID: 818406600

Ion Implantation and Synthesis of Materials ab 154.99 EURO Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2006. Ion Implantation and Synthesis of Materials ab 154.99 EURO Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2006. Bücher > Wissenschaft > Physik, [PU: Springer, Berlin/Heidelberg/New York, NY]

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Ion Implantation and Synthesis of Materials als Buch von James W. Mayer, Michael Nastasi - James W. Mayer, Michael Nastasi
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James W. Mayer, Michael Nastasi:
Ion Implantation and Synthesis of Materials als Buch von James W. Mayer, Michael Nastasi - gebunden oder broschiert

ISBN: 9783642062599

ID: 869217359

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Ion Implantation and Synthesis of Materials - Michael Nastasi
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Michael Nastasi:
Ion Implantation and Synthesis of Materials - Taschenbuch

ISBN: 9783642062599

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Ion Implantation and Synthesis of Materials Ion-Implantation-and-Synthesis-of-Materials~~Michael-Nastasi Science>Physics>Physics Paperback, Springer Berlin Heidelberg

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Details zum Buch
Ion Implantation and Synthesis of Materials

Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. Some integrated circuits require up to 17 implantation steps and circuits are seldom processed with less than 10 implantation steps. Controlled doping at controlled depths is an essential feature of implantation. Ion beam processing can also be used to improve corrosion resistance, to harden surfaces, to reduce wear and, in general, to improve materials properties. This book presents the physics and materials science of ion implantation and ion beam modification of materials. It covers ion-solid interactions used to predict ion ranges, ion straggling and lattice disorder. Also treated are shallow-junction formation and slicing silicon with hydrogen ion beams. Topics important for materials modification, such as ion-beam mixing, stresses, and sputtering, are also described.

Detailangaben zum Buch - Ion Implantation and Synthesis of Materials


EAN (ISBN-13): 9783642062599
ISBN (ISBN-10): 3642062598
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2010
Herausgeber: Springer-Verlag GmbH
280 Seiten
Gewicht: 0,427 kg
Sprache: eng/Englisch

Buch in der Datenbank seit 18.05.2011 00:41:30
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ISBN/EAN: 9783642062599

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-642-06259-8, 978-3-642-06259-9


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