Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfu… Mehr…
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. Trade Books>Trade Paperback>Science>Engineering>ELEC Engr, Vieweg+Teubner Verlag Core >1<
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Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. Buch 21.0 x 14.8 x 1.6 cm , Vieweg & Teubner, Ulrich Hilleringmann, Vieweg & Teubner, Hil<
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[EAN: 9783835100039], Neubuch, [PU: Vieweg+Teubner Verlag], MIKROSYSTEMTECHNIK BERECHNUNG BRANCHENINDEXONLINE ELEKTRONIK FACHINFORMATIKER INGENIEURSTUDIUM MIKROSYSTEM(MEMS) PRIVATDOZENT PRÜFUNGSVORBEREITUNG SENSOR SIEMENS SYSTEM SYSTEME SYSTEMTECHNIK VDE TECHNIK ELEKTROTECHNIK NACHRICHTENTECHNIK, Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik, Sensoren und Aktuatoren - Bausteine der MikrosystemtechnikProf. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universitaet Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sen., Books<
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[EAN: 9783835100039], Neubuch, [PU: Vieweg+Teubner Verlag], MIKROSYSTEMTECHNIK BERECHNUNG BRANCHENINDEXONLINE ELEKTRONIK FACHINFORMATIKER INGENIEURSTUDIUM MIKROSYSTEM(MEMS) PRIVATDOZENT PRÜFUNGSVORBEREITUNG SENSOR SIEMENS SYSTEM SYSTEME SYSTEMTECHNIK VDE TECHNIK ELEKTROTECHNIK NACHRICHTENTECHNIK, Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik, Sensoren und Aktuatoren - Bausteine der MikrosystemtechnikProf. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universitaet Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sen., Books<
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Detailangaben zum Buch - Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen Ulrich Hilleringmann Author
Buch in der Datenbank seit 2007-05-27T19:50:34+02:00 (Vienna) Detailseite zuletzt geändert am 2023-12-09T19:27:11+01:00 (Vienna) ISBN/EAN: 9783835100039
ISBN - alternative Schreibweisen: 3-8351-0003-3, 978-3-8351-0003-9 Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe: Autor des Buches: hiller, hilleringmann, ulrich hill, vieweg teubner verlag, ulrich bez Titel des Buches: mikrosystem, mikrosystemtechnik prozessschritte technologien anwendungen tabellen
Daten vom Verlag:
Autor/in: Ulrich Hilleringmann Titel: Mikrosystemtechnik - Prozessschritte, Technologien, Anwendungen Verlag: Vieweg+Teubner Verlag; Vieweg & Teubner 274 Seiten Erscheinungsjahr: 2006-04-25 Wiesbaden; DE Gewicht: 0,454 kg Sprache: Deutsch 37,99 € (DE) 39,05 € (AT) 42,00 CHF (CH) POD X, 274 S.
BC; Electrical Engineering; Hardcover, Softcover / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik; Elektrotechnik; Verstehen; Ingenieurwissenschaften; Berechnung; BranchenIndex Online; Elektronik; Fachinformatiker; Ingenieurstudium; Mikrosystem (MEMS); Mikrosystemtechnik; Privatdozent; Prüfungsvorbereitung; Sensor; Siemens; System; Systeme; Systemtechnik; VDE; Electronics and Microelectronics, Instrumentation; Applied and Technical Physics; Electrical and Electronic Engineering; Electronics and Microelectronics, Instrumentation; Applied and Technical Physics; Elektronik; Angewandte Physik; EA
Der Begriff 'Mikrosystemtechnik' - Aufbau eines Mikrosystems - Prozesstechnik - Basisprozesse der Mikrosystemtechnik - Sensor- und Aktoreffekte - Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Hybride Systeme
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