2008, ISBN: 3835190229
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ISBN: 9783835190221
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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches
Autor: | |
Titel: | |
ISBN-Nummer: |
Detailangaben zum Buch - Mikrosystemtechnik
EAN (ISBN-13): 9783835190221
ISBN (ISBN-10): 3835190229
Erscheinungsjahr: 2008
Herausgeber: Vieweg+Teubner (GWV)
Buch in der Datenbank seit 2009-06-18T00:46:12+02:00 (Vienna)
Detailseite zuletzt geändert am 2023-12-09T19:27:12+01:00 (Vienna)
ISBN/EAN: 9783835190221
ISBN - alternative Schreibweisen:
3-8351-9022-9, 978-3-8351-9022-1
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: ulrich hill, hilleringmann ulrich
Titel des Buches: mikrosystemtechnik
Daten vom Verlag:
Autor/in: Ulrich Hilleringmann
Titel: Mikrosystemtechnik - Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Verlag: Vieweg+Teubner Verlag; Vieweg & Teubner
274 Seiten
Erscheinungsjahr: 2008-02-13
Wiesbaden; DE
Sprache: Deutsch
26,96 € (DE)
26,96 € (AT)
36,23 CHF (CH)
Available
X, 274 S.
EA; E107; eBook; Nonbooks, PBS / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik; Elektrotechnik; Verstehen; Berechnung; BranchenIndex Online; Elektronik; Fachinformatiker; Ingenieurstudium; Mikrosystem (MEMS); Mikrosystemtechnik; Privatdozent; Prüfungsvorbereitung; Sensor; Siemens; System; Systeme; Systemtechnik; VDE; A; Electrical Engineering; Electronics and Microelectronics, Instrumentation; Applied and Technical Physics; Electrical and Electronic Engineering; Electronics and Microelectronics, Instrumentation; Applied and Technical Physics; Engineering; Elektronik; Angewandte Physik; BC
Der Begriff 'Mikrosystemtechnik' - Aufbau eines Mikrosystems - Prozesstechnik - Basisprozesse der Mikrosystemtechnik - Sensor- und Aktoreffekte - Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Hybride SystemeDieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
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