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Silizium-Halbleitertechnologie - Ulrich Hilleringmann
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Ulrich Hilleringmann:

Silizium-Halbleitertechnologie - Taschenbuch

ISBN: 9783834813350

Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Si… Mehr…

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Hilleringmann, Ulrich:

Silizium-Halbleitertechnologie - Taschenbuch

ISBN: 9783834813350

[ED: Softcover], [PU: Springer Fachmedien Wiesbaden / Vieweg+Teubner], Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektr… Mehr…

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Silizium-Halbleitertechnologie - neues Buch

ISBN: 9783834813350

Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Si… Mehr…

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Hilleringmann, Ulrich:
Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik - Taschenbuch

2014, ISBN: 9783834813350

Springer Vieweg, Taschenbuch, Auflage: 6., korr. und verb. Aufl. 2014, 276 Seiten, Publiziert: 2014-09-23T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, Hersteller-Nr.: black & white illustrations, 0.98… Mehr…

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Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik - gebrauchtes Buch

ISBN: 9783834813350

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Details zum Buch
Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 10 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik.
In der 6. Auflage ...

Detailangaben zum Buch - Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik


EAN (ISBN-13): 9783834813350
ISBN (ISBN-10): 3834813354
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2014
Herausgeber: Springer Vieweg

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Detailseite zuletzt geändert am 2023-01-07T23:32:05+01:00 (Vienna)
ISBN/EAN: 9783834813350

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-8348-1335-4, 978-3-8348-1335-0
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: hill, hille, hiller, hilleringmann ulrich, vieweg teubner verlag
Titel des Buches: halb, halbleiter, silizium halbleitertechnologie


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